Las bombas de vacío en miniatura, a menudo llamadas bombas de vacío pequeñas debido a su pequeño tamaño, se definen de la siguiente manera: una bomba de vacío en miniatura tiene una entrada y una salida, capaces de crear continuamente un vacío o presión negativa en la entrada y una ligera presión positiva en la salida; el medio de trabajo es principalmente gas y es un instrumento compacto.
Al conectar un recipiente sellado (inicialmente a una presión atmosférica de 100 kPa) a una bomba de vacío en miniatura y evacuarlo continuamente, la presión del gas dentro del recipiente sellado eventualmente caerá por debajo de la presión atmosférica, alcanzando una presión absoluta de 60 kPa. Además, a través de mejoras tecnológicas especiales, además de las bombas de vacío en miniatura de bombeo de una sola-función, se pueden desarrollar bombas de bombeo y evacuación de doble-propósito (es decir, el extremo de escape puede generar una presión positiva relativamente grande), utilizadas para presurización, llenado, superación de la resistencia del sistema, etc. También hay bombas de vacío en miniatura de agua-gas de doble-propósito únicas, que se pueden usar en situaciones que requieren-inactividad prolongada o funcionamiento en seco, a diferencia del agua ordinaria. Bombas que se dañan por el ralentí o el funcionamiento en seco.